為什么石墨熱場(chǎng)以及部件在單晶硅的制造中起著關(guān)鍵的載體作用?
直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場(chǎng),是指為了熔化硅料,并使單晶成長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。
石墨熱場(chǎng)一般包括(石墨資料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤(pán)、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
21世紀(jì),越來(lái)越多的用戶(hù)開(kāi)始注意到石墨資料,石墨具有耐高溫、導(dǎo)電、導(dǎo)熱性杰出、潤(rùn)滑性等主要特點(diǎn),抗熱震性等在新能源引領(lǐng)未來(lái)的時(shí)代,石墨熱場(chǎng)以及部件在單晶硅的制作中起著要害的載體作用。
在真空爐中石墨熱場(chǎng)是決議單晶硅好壞的決議要素,通過(guò)對(duì)石墨熱場(chǎng)的了解,決議熱場(chǎng)石墨組件的好壞的要素有很多,其間石墨原資料的挑選和加工工藝上非常要害
由于單晶爐石墨熱場(chǎng)大多是采用等靜壓石墨來(lái)加工,關(guān)于石墨制品加工企業(yè)來(lái)說(shuō)石墨資料要比加工工藝所占的比重大一些,那么提高石墨熱場(chǎng)的利用率是石墨制品加工企業(yè)都要考慮的問(wèn)題,因此在報(bào)價(jià)給看客戶(hù)報(bào)價(jià)的時(shí)分除了考慮石墨原資料理化目標(biāo),更多的還要考慮石墨熱場(chǎng)的壽命
清爐是個(gè)技術(shù)活,清爐不到位,將影響到單晶的正常成長(zhǎng),輕者,無(wú)法正常成長(zhǎng)單晶,重者,將會(huì)導(dǎo)致停爐,大家在整理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn):
1、盡量將噴濺到石墨部件上的硅滴去除,劣化嚴(yán)峻的石墨件要向主任陳述及時(shí)更換。
2、用刷子和吸塵器整理各種石墨件,一定要注意整理管道的重要性。
3、石墨件要輕拿輕放,防止石墨件受損。
4、整理潔凈的石墨件,應(yīng)放在潔凈的不銹鋼推車(chē)上,防止二次污染。

